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本发明涉及力传感器技术领域，公开一种基于Stewart结构的六维力传感器，包括沿所述第三方向同轴设置且依次间隔叠置的顶盘、中盘及底盘；第一预紧杆；四个平面力敏感杆，其内设有平面力敏感芯体；竖直力敏感杆，其内设有竖直力敏感芯体；四个平面力矩敏...
该专利属于南京元感微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京元感微电子有限公司授权不得商用。

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