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本发明公开了一种预沉积的工艺设备、工艺方法和双层预涂层。该工艺设备包括：反应腔；第一进气管路组，用于分别向所述反应腔内通入第一前驱体和第二前驱体，生成第一预沉积膜层，以粘附于所述反应腔内壁；以及第二进气管路，用于向所述反应腔内通入第三前驱体...
该专利属于拓荆科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技（上海）有限公司授权不得商用。

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