下载八极静电偏转系统的电极设计方法、装置及电子设备的技术资料

文档序号:46596051

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本申请公开了一种八极静电偏转系统的电极设计方法、装置及电子设备,该方法包括:在偏转系统的仿真模型中构建入射电子束,根据电压赋值策略将电极偏转电压值分配至八个电极;将不同的多个测试参数组输入偏转系统的仿真模型中对入射电子束进行偏转仿真,并记录...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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