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一种离子校准源制造技术
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文档序号:46595719
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本申请提供一种离子校准源,涉及环境检测技术领域。在该离子校准源中,流动控制装置能够使目标气体依次流过离子产生装置、离子控制装置,离子产生装置能够使流过自身的目标气体发生离子化,因此最终流出离子校准源的目标气体中包含目标离子。又由于离子控制装...
该专利属于北京沃斯彤科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京沃斯彤科技有限公司授权不得商用。
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