下载一种ITO废靶回收方法的技术资料

文档序号:46595643

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本发明提供了一种ITO废靶回收方法,包括以下步骤:将ITO废靶、硫与石墨混合得混合物;将混合物置于惰性环境下,加热至300℃~430℃进行硫化反应,反应结束后得中间体;在第一压强下,将中间体加热至1100℃~1200℃,反应结束后得到含硫化...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。

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