下载一种双剂型蚀刻液的技术资料

文档序号:46595417

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本发明涉及蚀刻液领域,具体涉及一种双剂型蚀刻液。所述主剂包括第一有机酸8‑15%、第一脲类化合物0.1‑0.5%、第一有机醚1‑5%、第一有机碱7‑15%、第一杂环化合物0.01‑0.3%、双氧水8‑15%,水补足余量;所述第一辅剂包括第二...
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