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本发明提供一种晶圆传送装置，所述晶圆传送装置包括传送爪、偏移传感器、状态检测传感器和控制器，传送爪上设有用于放置晶圆的第一区域，状态检测传感器设在传送爪上且位于第一区域内，多个偏移传感器均设在传送爪上且位于第一区域的外周侧，且偏移传感器与第...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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