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本申请实施例提供了一种缺陷检测精度的检验方法、装置、设备以及存储介质，包括：根据目标晶圆上每个缺陷对应的真实缺陷位置信息，确定各缺陷在目标晶圆上对应的缺陷区域。针对每个缺陷区域对应的检测图像进行缺陷检测，确定每个检测图像对应的缺陷检测结果。...
该专利属于北京奥普托科微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京奥普托科微电子技术有限公司授权不得商用。

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