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一种用于电子元器件的真空溅射银合金电极及其制备方法技术
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下载一种用于电子元器件的真空溅射银合金电极及其制备方法的技术资料
文档序号:46594500
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本发明涉及电极制备技术领域,具体涉及一种用于电子元器件的真空溅射银合金电极及其制备方法,本发明通过对基底的预处理,有效增强了银合金电极与基底的结合力,降低了因附着力问题导致的废品率。制备银合金溅射靶材及智能真空溅射系统的应用,确保了溅射过程...
该专利属于邱显发所有,仅供学习研究参考,未经过邱显发授权不得商用。
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