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本发明涉及晶圆测试技术领域，公开了一种探针卡及测试系统。该探针卡包括多个周期性陈列布置的单元组；所述单元组包括至少两个同轴探针；其中，至少一个所述同轴探针用于与待测器件的输入端抵接，至少一个所述同轴探针用于与待测器件的输出端抵接。在本发明中...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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