【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种探针卡及测试系统。
技术介绍
1、探针卡是晶圆测试环节的关键工具。随着半导体工艺进入5nm工艺节点，单颗芯片集成的晶体管数量达到千亿级，在制造中出现缺陷的概率急剧上升，而出现制造缺陷的芯片若直接进入封装环节，将导致生产成本的大幅增加。因此，晶圆级测试的重要性不容忽视，已经成为保障芯片良率的核心环节。
2、探针卡主要由探针头、印刷电路板及接口模块构成。在晶圆级测试中，探针卡为测试台和被测晶圆之间提供物理连接和电气连接，需要具备优秀的信号传输效率和可靠的机械接触，优秀的传输性能保证在测试中维持信号的稳定性和保真性，确保传输完整的信号以达到良好的测试效果，在机械接触方面需要实现微纳探针针尖与焊盘的低损伤良好接触，需要对接触力进行精准的控制。
3、目前探针卡主要有悬臂梁式探针卡、垂直式探针卡、mems探针卡几种。悬臂梁式探针卡采用单端固定的悬臂弹簧探针结构，通过悬臂梁的弹性形变实现垂直方向的接触。悬臂梁式探针卡便于更换，维护成本低，兼容性强，但传输性能和物理接触性能较差。探针间的寄生电...
【技术保护点】
1.一种探针卡，其特征在于，包括多个周期性陈列布置的单元组（210）；所述单元组（210）包括至少两个同轴探针；其中，至少一个所述同轴探针用于与待测器件的输入端抵接，至少一个所述同轴探针用于与待测器件的输出端抵接。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，多个所述单元组（210）呈m行n列排布，其中，m和n中的至少一个为大于1的正整数。
3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述第二电路板（220）上开设有通孔（221）。
5.根据权利要求1至4任一项所述的...
【技术特征摘要】
1.一种探针卡，其特征在于，包括多个周期性陈列布置的单元组（210）；所述单元组（210）包括至少两个同轴探针；其中，至少一个所述同轴探针用于与待测器件的输入端抵接，至少一个所述同轴探针用于与待测器件的输出端抵接。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，多个所述单元组（210）呈m行n列排布，其中，m和n中的至少一个为大于1的正整数。
3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述第二电路板（220）上开设有通孔（221）。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：温良恭，白中扬，朱晨曦，李昭颖，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。