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本发明涉及固晶设备领域,具体是涉及半导体器件精准定位往复快速取晶固晶装置及其固晶工艺,包括摆臂和拆装更换机构,拆装更换机构包括吊装板、储存机构、转移机构、升降机构和水平移动机构;储存机构包括吊装移动结构和储存结构,吊装移动结构设置在吊装板上...该专利属于先之科半导体科技(东莞)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先之科半导体科技(东莞)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及固晶设备领域,具体是涉及半导体器件精准定位往复快速取晶固晶装置及其固晶工艺,包括摆臂和拆装更换机构,拆装更换机构包括吊装板、储存机构、转移机构、升降机构和水平移动机构;储存机构包括吊装移动结构和储存结构,吊装移动结构设置在吊装板上...