温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种MEMS惯性器件及其键合工艺，涉及惯性器件技术领域，该器件通过设置包括自下而上依次键合的硅基底、器件层以及上盖板，在器件层与上盖板之间键合有金属走线层，上盖板下侧具有上盖板键合环，金属走线层与上盖板通过上盖板键合环进行键合，...
该专利属于武汉衡惯科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉衡惯科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。