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本发明符合掩模板处理技术领域，主要提及了一种具有双面清理功能的掩模板处理装置。包括有操作台，操作台安装有呈矩阵分布的固定架，呈矩阵分布的固定架转动连接有载物台，载物台内放置有掩模板，掩模板由石英板和上侧的金属层组成，呈矩阵分布的固定架通过第...
该专利属于江苏路芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏路芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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