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本发明公开了一种单晶炉掺杂装置、单晶炉及掺杂方法,属于单晶生长所用装置领域;本发明单晶炉掺杂装置中盛料容器顶部设置连接部;组装时,连接部穿过隔离罩顶部的连接通孔,连接部上设置连接结构,连接后的盛料容器悬挂在隔离罩的容纳腔内部;这种连接方式相...该专利属于鄂尔多斯市中成榆能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鄂尔多斯市中成榆能源有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种单晶炉掺杂装置、单晶炉及掺杂方法,属于单晶生长所用装置领域;本发明单晶炉掺杂装置中盛料容器顶部设置连接部;组装时,连接部穿过隔离罩顶部的连接通孔,连接部上设置连接结构,连接后的盛料容器悬挂在隔离罩的容纳腔内部;这种连接方式相...