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揭示了一种等离子体产生系统，该系统具有靶材料微滴源（比如锡微滴）和激光器（比如脉冲式二氧化碳激光器），激光器产生的光束照射在照射区域处的微滴，等离子体产生ＥＵＶ辐射。对于该设备，上述微滴源可以包括从一孔出射的流体以及在该流体中产生扰动的子系...
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