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本发明提供一种参考像元结构及红外探测器,涉及红外探测技术领域,该参考像元结构通过在遮挡层开孔来消除牺牲层并保证遮光效果,从而降低衬底温度及焦耳温升带来的影响。参考像元结构包括:基底、参考像元、遮挡层和遮挡支撑结构;参考像元设置在基底上;遮挡...该专利属于杭州海康微影传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州海康微影传感科技有限公司授权不得商用。
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