下载耐热正性光刻胶以及形成光刻胶图案的方法的技术资料

文档序号:46591424

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本发明涉及一种耐热正性光刻胶以及形成光刻胶图案的方法,该光刻胶的组分及其重量百分数为:20‑40%线性酚醛环氧树脂、0.5‑1.5%环氧树脂的潜伏型固化剂、1‑15%线性酚醛树脂、3‑25%重氮类光敏剂、20‑65%溶剂、0‑2%其他助剂,...
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