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本发明涉及一种硅片用复合型抛光液及其制备方法，属于硅片加工技术领域。所述抛光液包括复合磨料10~30份，磷脂1~8份，氧化剂0.1~1份，过氧化氢0.01~0.05份，脂肪醇聚氧乙烯醚0.1~1份，pH值调节剂0.01~3份，水80~100...该专利属于华挺纳米科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华挺纳米科技（上海）有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种硅片用复合型抛光液及其制备方法，属于硅片加工技术领域。所述抛光液包括复合磨料10~30份，磷脂1~8份，氧化剂0.1~1份，过氧化氢0.01~0.05份，脂肪醇聚氧乙烯醚0.1~1份，pH值调节剂0.01~3份，水80~100...