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本发明公开了一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，涉及无图形晶圆形貌检测技术，搭建基于计算全息的平面干涉仪系统误差标定装置，采用计算全息图生成待测波前，通过调整计算全息位姿生成4个独立待测波前并得到测量结果。将计算全息制造误差来源...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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