【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及无图形晶圆形貌检测，具体涉及一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法。
技术介绍
1、无图形晶圆形貌检测需高精度测量翘曲度等关键参数，但光学系统像差、干涉仪参考面面形误差会引入亚纳米级系统误差，尤其在测量超平坦晶圆时，误差占比可能超过实际形变信号。因此干涉仪系统误差的标定十分的重要，需要通过绝对检验方法对参考平面本身误差和干涉仪光学系统误差进行标定，以此提高测试精度。对于这部分误差分量，称之为系统误差。
2、g.schulz和j.schwider最早提出了三平板互检法用于干涉仪系统误差标定，但仅能获取一条直径方向上的绝对面形分布，韩森等人在此基础上增加一次旋转测量，得到全面形分布。三平板互检法在测量过程中需要更换参考镜，操作不便。继而发展出两平晶绝对检验方法，主要包括伪剪切法、旋转平移法及两平晶三面互检法。keenan提出伪剪切方法，平移待测镜得到绝对面形偏差，再通过积分得到绝对面形分布，但是在平移过程中容易引入额外倾斜，无法重建待测波面的离焦和像散项。fujimoto提出旋转平移法，在伪剪切方法的基础上...
【技术保护点】
1.一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于，实现步骤如下：
2.根据权利要求1所述的一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于：计算全息(S2)为相位型或振幅型反射计算全息。
3.根据权利要求2所述的一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于：计算全息(S2)为两个线性载频复合的计算全息，在两个线性载频所对应的工作角度θ1和θ2下，待测波前中计算全息基底面形偏差Wpass1和Wpass2有如下关系：
4.根据权利要求3所述的一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于，实现步骤如下：
2.根据权利要求1所述的一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于：计算全息(s2)为相位型或振幅型反射计算全息。
3.根据权利要求2所述的一种基于计算全息的平面干涉仪的系统误差标定方法，其特征在于：计算全息(s2)为两个线性载频复合的计算全息，在两个线性载频所对应的工作角度θ1和θ2下，待测波前中计算全息基底面形偏差wpass1...
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