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本发明提供一种晶圆承载装置及其支撑高度调整方法，晶圆承载装置包括载台和多个支撑销，所有支撑销用以支撑晶圆，支撑销包括第一支撑组件、第二支撑组件和高度调节组件，第一支撑组件固定在载台上，高度调节组件和第二支撑组件设置在第一支撑组件上，第二支撑...
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