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本技术提供了一种摆臂式晶圆干燥装置，包括：干燥腔体，干燥腔体内装配摆动组件，摆动组件包括摆动座和摆臂组件，摆动座与干燥腔体转动连接；摆臂组件包括驱动装置和连接组件，驱动装置装配于干燥腔体的内壁并驱使连接组件升降并带动摆动座以与干燥腔体的转动...
该专利属于苏州智程半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智程半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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