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本技术涉及光刻机领域，具体是一种具有清理结构的高精度光刻机。本技术包括光刻机主体，所述光刻机主体下端设置有工作台，所述工作台内部具有一容置空腔；转运构件，所述转运构件可拆卸的布设于所述工作台上端，所述转运构件底部对称设置有支撑板；清理构件，...
该专利属于泰州市子拓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰州市子拓光电科技有限公司授权不得商用。

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