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一种研磨盘平整度检测装置及检测方法制造方法及图纸
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下载一种研磨盘平整度检测装置及检测方法的技术资料
文档序号:46582642
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本发明涉及水平度检测技术领域,具体公开了一种研磨盘平整度检测装置及检测方法,包括:圆台以及旋转台,旋转台的内部滑动装配有滑板,滑板的外端竖向固定有定位杆;滑板的一侧设置有转动装配在旋转台内的转盘,能够在转动中带动滑板在旋转台内滑移,使定位杆...
该专利属于无锡兴华衡辉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡兴华衡辉科技有限公司授权不得商用。
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