下载一种用于碳化硅反应烧结炉内的氮化硅涂层的技术资料

文档序号:46578511

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本发明公开了一种用于碳化硅反应烧结炉内的氮化硅涂层,属于防护涂料技术领域。本发明提供了氮化硅涂层,其中不含硼元素,从根本上杜绝了硼元素的引入,采用氮化硅涂层烧结炉烧结的碳化硅陶瓷产品中的硼杂质含量低,产品因烧结带来的硼元素含量超标问题得以控...
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