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本发明属于光纤传感器技术领域,公开了一种MEMS光纤传感器及其结构,包括:外壳,作为MEMS光纤传感器的整体框架;温度传感结构,连接于所述外壳内壁顶端;石英管,连接于所述外壳内壁底端;连接用线束,一端插设于所述石英管中部且和所述温度传感结构...该专利属于深圳市特发信息股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市特发信息股份有限公司授权不得商用。
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本发明属于光纤传感器技术领域,公开了一种MEMS光纤传感器及其结构,包括:外壳,作为MEMS光纤传感器的整体框架;温度传感结构,连接于所述外壳内壁顶端;石英管,连接于所述外壳内壁底端;连接用线束,一端插设于所述石英管中部且和所述温度传感结构...