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本发明提出了一种大尺寸CVD多晶金刚石膜表面研磨方法，属于金刚石材料加工的技术领域，用以解决CVD多晶金刚石化学机械研磨和抛光效率低、消耗高的技术问题。本发明首先采用激光加工方法在CVD多晶金刚石膜表面进行图形化加工，后在金刚石微粉镀制纳米...
该专利属于河南联合精密材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南联合精密材料股份有限公司授权不得商用。

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