下载一种CZ法长晶中籽晶角度倾斜的快速检测装置的技术资料

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本技术公开了单晶硅技术领域内的一种CZ法长晶中籽晶角度倾斜的快速检测装置,包括:底座;数码放大镜,通过支架悬吊于底座上,数码放大镜的视角朝向正下方;夹持装置,设置于数码放大镜下方,夹持装置用以夹持待测籽晶;第一减速电机,安装于底座,夹持装置...
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