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本申请提供了一种薄膜电极批量热处理装置，包括限位夹具和压板，限位夹具的内端设有空置架，空置架的后端设有限位块，空置架的上端设有线路板，线路板的上端设有待处理完整基片，待处理完整基片上设有若干组薄膜电极，限位夹具与压板的前端设有电压源，电压源...
该专利属于浙江固微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江固微科技有限公司授权不得商用。

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