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本技术公开了一种用于晶片抛光的清洗装置,涉及晶片清洗技术领域,该用于晶片抛光的清洗装置,包括水箱,所述水箱的内部中心处设置有防护套,缩水防护套的上端设置有摆放组件,所述水箱的一侧设置有清洗组件,所述水箱靠近底端的前表面设置有出水口,所述清洗...该专利属于青岛嘉星晶电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛嘉星晶电科技股份有限公司授权不得商用。
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