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本技术提供了一种侦测装置及半导体生产设备，侦测装置包括探测机构和吹扫机构；探测机构包括第一结构件和第二结构件；第一结构件和第二结构件沿预设方向排布，并分别位于预设位置的相对两侧；第一结构件包括光信号发射部；吹扫机构包括气体喷射部，气体喷射部...
该专利属于荣芯半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荣芯半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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