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本申请提供了一种铁电晶体管、FeFET存储器阵列及芯片。铁电晶体管,包括:自下而上依次堆叠的半导体沟道、中间介电层、反铁电层、铁电层和栅极层;或者,自下而上依次堆叠的半导体沟道、中间介电层、反铁电层、阻挡层、铁电层和栅极层;或者,自下而上依...该专利属于上海深明奥思半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海深明奥思半导体科技有限公司授权不得商用。
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本申请提供了一种铁电晶体管、FeFET存储器阵列及芯片。铁电晶体管,包括:自下而上依次堆叠的半导体沟道、中间介电层、反铁电层、铁电层和栅极层;或者,自下而上依次堆叠的半导体沟道、中间介电层、反铁电层、阻挡层、铁电层和栅极层;或者,自下而上依...