温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种纳米结构的等离子防护复合涂层，所述复合涂层为采用真空冷喷涂方法在基底上制备的复合陶瓷涂层，所述复合陶瓷涂层的厚度为1~50μm，粒径为10~200nm，孔隙率<1%，所述复合陶瓷涂层材料由氧化钇和第二陶瓷组分共同组成。...
该专利属于江苏凯威特斯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏凯威特斯半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。