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本发明属于半导体芯片检测技术领域，本发明提供了一种半导体芯片表面缺陷检测方法及系统，包括：采集半导体芯片的芯片图像整合为芯片图像序列，并识别芯片图像内的疑似缺陷区域，在芯片图像序列内疑似缺陷区域进行匹配得到匹配组，根据匹配组判断疑似缺陷区域...
该专利属于苏州弘皓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州弘皓光电科技有限公司授权不得商用。

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