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本发明公开了一种基于MoS2的薄膜晶体管MOSFET结构及其制备方法,属于半导体技术领域;包括由若干个相互并列的MOS元胞构成,单个MOS元胞包括漏极、半导体外延层、源极和栅极;本发明通过在N漂移层中间设置轻掺杂N层,并配合两侧弧形侧对称P...该专利属于杭州谱析光晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州谱析光晶半导体科技有限公司授权不得商用。
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