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本申请公开了基于多模态光电子成像的晶体生长均匀性动态监测方法，涉及晶体监测技术领域，包括集成多种光电子成像方法对晶体生长过程进行监测，得到多模态成像数据；基于深度学习模型对多模态成像数据进行数据融合分析，计算均匀性指数，生成热力图，识别非均...该专利属于山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司授权不得商用。