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本发明提供了一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法，容置晶圆的外部载具由至少一个晶圆装载工站载入，由载具传送系统将容置晶圆的外部载具转移至晶圆转移装置；由晶圆转移装置将多片晶圆由外部载具同步转移至内部载具；将容置晶圆的内部载具通过载具传送系统传...
该专利属于苏州智程半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智程半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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