下载TDDB测试工艺结构及其制备方法、TDDB测试方法的技术资料

文档序号:46567779

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本发明公开了一种TDDB测试工艺结构及制备方法、TDDB测试方法,所述TDDB测试工艺结构包括:衬底,包括相对设置的第一表面和第二表面;绝缘层,位于所述第一表面上,所述绝缘层包括第一区域和第二区域;电容器,位于所述第一区域上,所述电容器包括...
该专利属于苏州苏纳光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州苏纳光电有限公司授权不得商用。

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