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提拉法晶体生长装置制造方法及图纸
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下载提拉法晶体生长装置的技术资料
文档序号:46565624
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本技术涉及晶体生长技术领域,具体公开了一种提拉法晶体生长装置,炉壳内设置有保温筒和隔板,保温筒包括上筒体和下筒体,上筒体和下筒体扣合并形成生长空间,生长空间的底部嵌入有用于盛放熔体的坩埚,籽晶杆的下端位于生长空间内并与熔体的熔化部分接触,第...
该专利属于厦门钨业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门钨业股份有限公司授权不得商用。
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