下载一种光电-压电复合驱动的微夹钳的技术资料

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本技术公开了一种光电‑压电复合驱动的微夹钳,属于微夹钳领域。它包括基座、微调平台、微调组件、第一钳指和第二钳指,其中,微调组件包括固支梁放大件、连接件、第一压电驱动件、第一PLZT驱动件、第二压电驱动件、第二PLZT驱动件,第一压电驱动件和...
该专利属于安徽工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽工业大学授权不得商用。

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