一种光电-压电复合驱动的微夹钳制造技术

技术编号:46564643 阅读:2 留言:0更新日期:2025-10-10 21:15
本技术公开了一种光电‑压电复合驱动的微夹钳,属于微夹钳领域。它包括基座、微调平台、微调组件、第一钳指和第二钳指,其中,微调组件包括固支梁放大件、连接件、第一压电驱动件、第一PLZT驱动件、第二压电驱动件、第二PLZT驱动件,第一压电驱动件和第二压电驱动件分别固定在固支梁放大件长度方向上的两端,第一PLZT驱动件和第二PLZT驱动件分别固定在基座上,第一PLZT驱动件与第一压电驱动件相串联并形成电回路,第二压电驱动件与第二PLZT驱动件相串联并形成电回路,连接件用于固定连接固支梁放大件与微调平台、第一钳指和第二钳指。本技术可以实现无导线非接触控制,适用于易受电磁干扰区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微夹钳装置,特别是一种光电-压电复合驱动的微夹钳调节装置。


技术介绍

1、随着微电子技术和微纳米技术的快速发展,给生物医药、航天、信息和通讯方面等诸多领域带来了重大影响。微夹钳作为微装配与微操作系统的末端执行部分,传统微夹钳根据驱动力类型的不同可分为静电驱动、压电驱动、电磁驱动、电热驱动、形状记忆合金(sma)驱动和真空吸附夹持等。它们共同的缺点为:微夹钳均有电磁激发装置和导线连接,易受到电磁干扰,甚至引发误动作,造成装配无法完成或损坏操作对象。且传统的微夹钳,大都只能实现夹持方向的微运动,灵活性不够,结构复杂。

2、例如,中国专利申请号为201310675398.4,申请公开日为2015年9月16日的专利申请文件公开了一种光驱动的微夹钳装置。该专利为镧改性锆钛酸铅陶瓷双晶片驱动的微夹钳装置,包括基座、紫外通光孔、plzt双晶片、一级放大机构、二级放大机构和夹持臂。plzt双晶片一端与基座底端固连,另一端与一级放大机构固连,一级放大机构通过柔性铰链与基座侧壁固连,输出端与二级放大机构连接,二级放大机构以夹持臂为输出端。当plz本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光电-压电复合驱动的微夹钳,其特征在于:包括基座(1)、微调平台(2)、微调组件(3)、第一钳指(4)和第二钳指(5),所述微调平台(2)活动放置在基座(1)上,第一钳指(4)和第二钳指(5)平行放置在微调平台(2)上,微调组件(3)至少设有三组,各微调组件(3)一端固定安装在基座(1)上,微调平台(2)、第一钳指(4)和第二钳指(5)均至少与一个微调组件(3)的另一端连接,其中,所述微调组件(3)包括固支梁放大件(31)、连接件(32)、第一压电驱动件(33)、第一PLZT驱动件(34)、第二压电驱动件(35)、第二PLZT驱动件(36),所述第一压电驱动件(33)和第二压电驱...

【技术特征摘要】

1.一种光电-压电复合驱动的微夹钳,其特征在于:包括基座(1)、微调平台(2)、微调组件(3)、第一钳指(4)和第二钳指(5),所述微调平台(2)活动放置在基座(1)上,第一钳指(4)和第二钳指(5)平行放置在微调平台(2)上,微调组件(3)至少设有三组,各微调组件(3)一端固定安装在基座(1)上,微调平台(2)、第一钳指(4)和第二钳指(5)均至少与一个微调组件(3)的另一端连接,其中,所述微调组件(3)包括固支梁放大件(31)、连接件(32)、第一压电驱动件(33)、第一plzt驱动件(34)、第二压电驱动件(35)、第二plzt驱动件(36),所述第一压电驱动件(33)和第二压电驱动件(35)分别固定在固支梁放大件(31)长度方向上的两端,第一plzt驱动件(34)和第二plzt驱动件(36)分别固定在基座(1)上,第一plzt驱动件(34)与第一压电驱动件(33)相串联并形成电回路,第二压电驱动件(35)与第二plzt驱动件(36)相串联并形成电回路,连接件(32)用于固定连接固支梁放大件(31)与微调平台(2)、第一钳指(4)和第二钳指(5)。

2.根据权利要求1所述的一种光电-压电复合驱动的微夹钳,其特征在于:所述微调组件(3)分别连接在第一钳指(4)和第二钳指(5)长度方向上的侧面,用于控制第一钳指(4)和第二钳指(5)之间的间距;连接微调平台(2)的微调组件(3)位于在第一钳指(4)和第二钳指(5)长度方向的后端,用于控制第一钳指(4)和第二钳指(5)向前或向后的位移。

3.根据权利要求1所述的一种光电-压电复合驱动的微夹钳,其特征在于:所述连接件(32)固定连接在固支梁放大件(31)长度方向的正中间。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:贺容波何浩然
申请(专利权)人:安徽工业大学
类型:新型
国别省市:

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