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本技术公开了一种衬底检测装置及衬底处理设备。所述衬底检测装置与反应腔体配合设置，其包括光路检测组件以及两组直线模组。光路检测组件包括位于反应腔体相对应一侧位置处的光线发射器、位于反应腔体相对应另一侧位置处的光线接收器。当衬底存在时，光线发射...
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