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Micro-LED外延结构的制造方法及Micro-LED芯片技术
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文档序号:46562973
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本申请涉及Micro‑LED制造技术领域,具体涉及一种Micro‑LED器件的制造方法及LED芯片。本申请提供的Micro‑LED外延结构的制造方法,包括以下步骤:提供工艺中间体,工艺中间体至少包括底部的衬底层和顶部的低温GaN层;在低温G...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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