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本技术涉及一种等离子刻蚀机电极结构，其包括真空室，真空室内设置有电极组件和挡板，电极组件包括若干竖直且等间距的排列的电极板，挡板位于电极组件的左右两侧，挡板与电极板平行，且挡板到最近的电极板的距离等于两个相邻的电极板之间的距离的一半；这样第...
该专利属于珠海恒格微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海恒格微电子装备有限公司授权不得商用。

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