温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术涉及清洗装置领域,尤其涉及一种硅片表面污染清洗装置,包括有底板;底板的上端左部固接有清洗箱,清洗箱的上端为开口状。本技术通过将圆形的硅片从上向下穿过第二槽体并放置在两个托块的上端,使得圆形硅片的下端被两个托块的上端支撑,同时圆形的硅片...该专利属于安徽晶天新能源科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽晶天新能源科技有限责任公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术涉及清洗装置领域,尤其涉及一种硅片表面污染清洗装置,包括有底板;底板的上端左部固接有清洗箱,清洗箱的上端为开口状。本技术通过将圆形的硅片从上向下穿过第二槽体并放置在两个托块的上端,使得圆形硅片的下端被两个托块的上端支撑,同时圆形的硅片...