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本技术涉及薄膜厚度测量技术领域，公开了一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置，包括支撑板；位于所述支撑板上方设置有中间隔层板；所述中间隔层板下方贴合在下极板的顶面，且下极板的底面贴合在支撑板上；中间隔层板顶面搭接有上极板，上极板顶面贴合在保护...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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