【技术实现步骤摘要】
本技术属于薄膜厚度测量，具体地说，涉及一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置。
技术介绍
1、现有工业生产以及科学研究经常需要对薄膜厚度进行高精度测量。
2、传统的厚度测量方法，如机械式千分尺、超声波测厚仪等，往往存在测量精度受限、操作复杂、易受环境干扰等问题。
3、开发出一款基于pcap01高精度电容测量芯片的无接触式薄膜厚度测量仪的探头机械装置。由于单位薄膜厚度变化带来的探头电容变化与探头两金属极板的间距呈负相关，需要探头金属极板间距尽可能小，这为探头制作以及如何放入薄膜带来了困难。本机械装置设计提供了如何固定两极板、无机械扰动地放入薄膜的可行解决方案。
4、本机械装置具有抗机械扰动能力强，组装方便，操作简单等优点。
5、有鉴于此特提出本技术。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术采用技术方案的基本构思是：
2、一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置，包括支撑板；位于所述支撑板上方设置有中间隔层板；
3、所述中...
【技术保护点】
1.一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置，其特征在于，所述圆形通口的直径小于上极板(3)的直径，且上极板(3)和下极板(4)同直径。
3.根据权利要求1所述的一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置，其特征在于，所述中间隔层板(5)的四角处被安装在支撑板(1)上的四颗螺丝活动贯穿。
4.根据权利要求3所述的一种非接触式高精度厚度测量仪机械装置，其特征在于，安装在支撑板(1)上的四颗螺丝活动贯穿于保护盖(2)，并通过适配的螺母固定住保护盖(2)。
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