温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种外延晶圆及改善外延晶圆平坦度的方法和装置；该方法包括：根据外延晶圆的外延层的边缘区域的纳米形貌值，从设定的外延沉积温度范围中按照设定的温度梯度选取多个候选外延沉积温度；分别基于各候选外延沉积温度在衬底晶圆表面沉积外延层，得到...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。