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本技术属于真空处理技术领域，公开了一种基板承载装置。该基板承载装置包括壳体、装载组件和驱动组件，壳体内设有封闭腔室，装载组件包括置于封闭腔室内的旋转结构以及第一回转支承件，旋转结构通过第一回转支承件连接于封闭腔室的内腔壁，旋转结构用于固定基...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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